9月21日下午,中国科学院金属研究所孙东明研究员应邀莅临我校,为理学院师生作题为《集成芯片原子级制造》的专题学术报告。本次报告会由理学院院长玉姣教授主持,理学院师生到场聆听交流。

报告中,孙东明围绕原子级制造这一核心主题,系统介绍后摩尔时代低维半导体器件的发展路径。团队依托MBE分子束外延原子级生长技术,围绕碳基、二维、III‑V族、锗基异质体系开展研究;针对二维材料无悬挂键带来的高质量栅介质制备难题,开发低温原位氧化制备超薄氧化镓介电层方案;针对金属‑半导体接触的费米能级钉扎效应,探索二维插层材料实现接触特性调控。
报告同时展示系列标志性研究成果—突破玻尔兹曼极限的热发射极晶体管、亚纳米单原子层沟道鳍式晶体管阵列、石墨烯‑锗高频垂直晶体管等新型功能器件。此外,孙东明结合自身创业实践,介绍主动式半导体微型控温芯片国产化进展,分享基础科研面向国家重大需求实现成果转化的实践经验,启发师生思考科研与产业的结合路径。
报告互动环节,师生踊跃提问,围绕材料制备、界面调控、器件性能及产业化等问题展开深入研讨,现场学术氛围浓厚。
本次报告立足集成电路前沿,兼顾基础理论、关键技术与产业应用,为理学院师生了解低维材料与原子级芯片制造领域前沿打开窗口,对推动学院学科建设、深化对外学术交流、提升人才培养质量具有重要意义。
来访期间,校长刘坚、副校长刘海峰会见孙东明研究员并开展座谈。孙东明走访辽宁省新型微纳米功能材料研究重点实验室,听取科研团队工作汇报,对学科发展方向、科研平台建设给予指导。理学院党总支书记陈雪峰、院长玉姣陪同参观石油化工产业链实训培训基地。(撰稿人:郭怀红 校对人:玉姣 审稿人:陈雪峰/王浩 摄)